शब्द "शुद्धिकरण" का चीनी भाषा में एक लंबा इतिहास है, जिसका मूल अर्थ है "स्वच्छ और शुद्ध बनाना", और मोटे तौर पर अशुद्धियों को दूर करने और प्रदूषण को खत्म करने के लिए सभी प्रक्रियाओं और प्रौद्योगिकियों को संदर्भित कर सकता है। संगत अंग्रेजी शब्दों में "शुद्धिकरण" (शुद्धता पर जोर देना) और "क्लीन" (स्वच्छता पर जोर देना) शामिल हैं। इसलिए, क्लीनरूम इंजीनियरिंग के लिए अंग्रेजी अभिव्यक्ति में "प्यूरीफिकेशन इंजीनियरिंग," "क्लीन इंजीनियरिंग," या "क्लीनरूम टेक्नोलॉजी" शामिल हैं। यह व्यापक अर्थ यह निर्धारित करता है कि क्लीनरूम इंजीनियरिंग के विभिन्न विषयों में अलग-अलग अर्थ हैं।
आधुनिक क्लीनरूम इंजीनियरिंग, जिसके मूल में क्लीनरूम तकनीक है, की शुरुआत 1950 के दशक में हुई। कोरियाई युद्ध के दौरान, अमेरिकी सेना ने पाया कि धूल घुसपैठ के कारण कई इलेक्ट्रॉनिक उपकरण अक्सर खराब हो रहे थे, जिसने वायु शोधन तकनीक के विकास को प्रेरित किया, विशेष रूप से उच्च दक्षता वाले पार्टिकुलेट एयर (HEPA) फिल्टर के अनुसंधान और अनुप्रयोग को। 1961 में, सैंडिया नेशनल लेबोरेटरीज के विलिस व्हिटफील्ड ने एक "लैमिनर फ्लो" (जिसे अब आधिकारिक तौर पर "यूनिडायरेक्शनल फ्लो" कहा जाता है) स्वच्छ वायु प्रवाह संगठन योजना का प्रस्ताव रखा, जिससे क्लीनरूम को स्वच्छता के अभूतपूर्व स्तर प्राप्त करने में सक्षम बनाया गया। उसी वर्ष, अमेरिकी वायु सेना ने दुनिया का पहला क्लीनरूम मानक जारी किया, और 1963 में, यूएस फेडरल स्टैंडर्ड FED-STD-209 प्रकाशित किया गया, जो क्लीनरूम प्रौद्योगिकी प्रणाली के प्रारंभिक गठन को चिह्नित करता है। इसके बाद, एकीकृत सर्किट और बायोमेडिसिन जैसे उद्योगों के तेजी से विकास के साथ, क्लीनरूम इंजीनियरिंग तकनीक में लगातार नवाचार और विकास हुआ है।
चीन में, "क्लीनरूम डिज़ाइन कोड" (जीबीजे 73-84) को 1984 में प्रख्यापित किया गया था, और "क्लीनरूम कंस्ट्रक्शन एंड एक्सेप्टेंस कोड" (जेजीजे 71-90) को 1990 में प्रख्यापित किया गया था। कई संशोधनों के बाद, जीबी 50073-2013 "क्लीनरूम डिज़ाइन कोड" के मूल में एक राष्ट्रीय मानक प्रणाली का गठन किया गया है। अंतरराष्ट्रीय स्तर पर, ISO/TC209 तकनीकी समिति द्वारा संकलित मानकों की ISO 14644 श्रृंखला, क्लीनरूम और संबंधित नियंत्रित वातावरण के लिए सामान्य दिशानिर्देश हैं। मेरे देश ने इन मानकों को अपनाया है और उन्हें जीबी/टी 25915 श्रृंखला के रूप में लागू किया है।